10月10日消息，ASML新任CEO近日公開(kāi)表示，兩臺(tái)High NA EUV光刻機(jī)（單臺(tái)設(shè)備的售價(jià)約為3.5億美元）已經(jīng)在英特爾安裝完成了。
作為目前全球先進(jìn)，也是貴的光刻機(jī)，ASML寶石，High NA EUV光刻機(jī)不太可能像初的EUV光刻機(jī)那樣出現(xiàn)延遲。
“我們只能期待它相對(duì)快速地推出和采用，因?yàn)镠igh NA EUV光刻機(jī)更像是EUV光刻機(jī)的“升級(jí)款”，而不是一個(gè)全新的產(chǎn)品。”
有趣的是，臺(tái)積電以成本為由，遲遲不肯接受High NA。在外界看來(lái)，這有點(diǎn)像臺(tái)積電的談判游戲，也許是在與ASML爭(zhēng)奪更好的條件。
之前，ASML對(duì)外展示了新EUV光刻機(jī)內(nèi)部畫(huà)面，這也引來(lái)了不少網(wǎng)友的圍觀，有人甚至表示，這不怕國(guó)產(chǎn)廠商逆向復(fù)刻嗎？
這臺(tái)EUV已于去年年底運(yùn)抵其位于俄勒岡州的D1X工廠，英特爾計(jì)劃在2025年年底開(kāi)始使用該系統(tǒng)進(jìn)行生產(chǎn)。
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